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VIKA超高纯度传感器

产品时间:2020-05-13

简要描述:

VIKA超高纯度传感器
应用
半导体、平板显示器和光伏行业
用于为半导体生产系统供应超纯气体
产品特性
高精度压力测量0.15 % RSS
的长期稳定性
信号降噪和屏蔽
真空基准压力测量
主动温度补偿

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VIKA超高纯度传感器

 

描述

可靠
WUD-2x系列超高纯度传感器将先进的传感器理念与模拟输出信号相结合,能够为当前市场需求提供、确的压力测量。

基于真正真空基准的压力测量技术,加上带干扰屏蔽及噪音消除的电子测量技术,确保了高精度压力测量以及优异的长期稳定性。

主动温度补偿可降低温度变化对传感器的影响,即使在温度变化很大的应用中仍然能够安全使用,如气体膨胀时的焦耳汤姆逊效应。

 

WUD-25管道式及WUD-26表面安装传感器 采用特别设计,可承受安装带来的扭曲应力。特殊的薄膜设计可消除过程连接或焊接接缝处的负载造成的传感器失效风险。

多用途
WUD-2x可轻松安装于“on-tool”配气系统中。明亮的LED显示屏可旋转,因此可从任意位置轻松查看读数。

配备2个可编程开关输出,可针对具体应用进行监测及控制。

结构紧凑
WUD-2x是市面上的UHP传感器,够用于安装空间狭小的场合,甚至可轻松对现有装置进行改装。

威卡(WIKA)是一家拥有10,000余名员工的性德国家族企业,公司不仅是压力、温度测量领域的,还是液位、力、流量测量、校准技术及SF6气体解决方案方面的业界*。

高品质的产品和服务

威卡(WIKA)生产基地遍布,确保了交付能力的灵活性和快速性。每年,我们都有超过5,000万件优质产品(包括标准产品和定制方案)交付到用户手中,每批次从1件到10,000件不等。

凭借遍布各地的众多分公司和合作伙伴,威卡(WIKA)能够为客户提供化的可靠支持。我们经验丰富的工程师和销售专家也将竭诚为您提供可信赖的本地化服务。

VIKA超高纯度传感器

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